الغرف النظيفة لأشباه الموصلات
غرف نظيفة لأشباه الموصلات مخططة وفق معداتك.
مقصورات العمليات وغرف التغليف والاختبار، بمسارات للهواء والأرضية والخدمات تُحدد وفق مخطط معداتك.
ما يهم
مصممة بما يناسب عمليتك
- الأرضية المرتفعة ومسارات الهواء الراجع مخططة مع توزيع معداتك
- إضاءة صفراء في مناطق الطباعة الحجرية حيث تتطلبها عمليتك
- نطاقات درجة الحرارة والرطوبة تُحدد مع مسؤول العملية لديك
- ممرات الخدمات ومساحة توصيل المعدات يُخطط لها منذ مخطط التوزيع الأول
الغرف
أنواع الغرف الشائعة
| الغرفة | الفئة الشائعة |
|---|---|
| مقصورات العمليات | ISO 4–6 |
| التغليف المتقدم | ISO 5–6 |
| الاختبار والفحص | ISO 6–7 |
| غرفة تبديل الملابس | ISO 7–8 |
فئات نموذجية، تُؤكَّد وفق عمليتك ومنتجك والجهة التنظيمية. صور القطاع توضيحية.
كيف يحدد مخطط معداتك المناطق
يُرسم مصنع الرقائق انطلاقًا من قائمة المعدات. فلكل جهاز مساحة وجانب خدمة وعادم وخطوط غاز وكيماويات وحد اهتزاز. قرر أي جوانب المعدات تواجه المقصورة النظيفة وأيها تواجه منطقة الخدمة. ويحدد مسؤول العملية لديك وصانعو المعدات الفئة لكل خطوة عملية. ولا يوجد رقم واحد يناسب مصنع رقائق بأكمله. حدد كل غرفة تحتاج إلى خطوط غاز أو كيماويات أو عادم.
يصنف ISO 14644-1:2015 الهواء بحسب الجسيمات من 0.1 µm إلى 5 µm. وتدرجه ISO بوصفه مُراجعًا ومؤكدًا في 2021.
قائمة الغرف النموذجية
لا نعطي هنا فئة ثابتة. فكل غرفة تأخذ قيمتها من عمليتك ومعداتك.
| الغرفة | ما الذي يحدد المتطلب |
|---|---|
| مقصورة العمليات | بيانات صانع المعدات وعمليتك |
| مقصورة الطباعة الحجرية | طيف الضوء مطابَقًا مع مقاومك الضوئي |
| غرف الغاز والكيماويات | إنذار التسرب وكشفه، GB 50472 البند 12.3 |
| الاختبار والتغليف | مواصفة المنتج |
| غرفة تبديل الملابس | درجة الضغط نحو المقصورة |
القواعد والمعايير المطبقة
ينص ISO 14644-1 على أنه لا يغطي الطبيعة الكيميائية للجسيمات. ويصنف ISO 14644-8:2022 الهواء بحسب التركيز الكيميائي، وقد حل محل إصدار 2013. وSEMI S2 (المراجعة 0724E، متجر SEMI) هو إرشاد السلامة للمعدات المستخدمة في تصنيع منتجات أشباه الموصلات وقياسها وتجميعها واختبارها. ويطلب GB 50472-2008 أجهزة إنذار تسرب الغاز حيث تُخزَّن الغازات القابلة للاحتراق والمتفجرة والسامة وتُوزَّع (12.3.6). وفيه فصل عن الاهتزازات الدقيقة مع قيم أمثلة للمعدات الدقيقة (الفصل 15، التذييل C). وتعتمد الجهة التنظيمية منشأتك.
أخطاء التصميم الشائعة
افتراض أن الضوء الأصفر آمن. اختبرت دراسة من عام 2025 في Applied Science and Convergence Technology فيلم مقاوم ضوئي تحت الضوء الأصفر. وظل أحد الأنظمة يمرر من الأشعة فوق البنفسجية ما يكفي لتظهير المقاوم الضوئي.
استخدام فئة الجسيمات مقياسًا وحيدًا. فهي لا تقول شيئًا عن التلوث الكيميائي.
تأجيل الاهتزاز حتى تركيب المعدات. حدد الحدود في مرحلة مخطط التوزيع، استنادًا إلى أوراق بيانات صانعي معداتك.
ما يجب إرساله لتحديد النطاق
أرسل قائمة المعدات مع المساحة والوزن والحمل الحراري والعادم وحد الاهتزاز. وأضف الفئة لكل خطوة عملية، وقائمة الكيماويات والغازات، وأي حدود للتلوث الكيميائي، وخطة التوسعة. وحدد المقصورات التي تستخدم الطباعة الحجرية.
الأسئلة
أسئلة شائعة
ما فئة ISO التي يحتاجها مصنع الرقائق؟
لا توجد فئة واحدة. يعتمد ذلك على خطوة العملية والجهاز. ويصنف ISO 14644-1 من 0.1 µm حتى 5 µm، لذا يمكنه وصف المقصورات الدقيقة. ويحدد مسؤول العملية لديك الرقم.
هل تغطي فئة الجسيمات التلوث الكيميائي؟
لا. لا يغطي ISO 14644-1 الطبيعة الكيميائية للجسيمات. ويصنف ISO 14644-8:2022 الهواء بحسب التركيز الكيميائي.
كيف أتحقق من أن الضوء الأصفر آمن؟
قارن طيف المصباح بورقة بيانات المقاوم الضوئي لديك. ثم اختبر بفيلم مقاوم ضوئي، كما فعلت دراسة 2025. فاللون وحده لا يثبت الأمان.
المصادر
- ISO 14644-1:2015، النطاق والحالة (مدخل Standards Council of Canada)
- مدخل ISO 14644-8:2022 (Genorma)
- SEMI S2، متجر SEMI
- GB 50472-2008 (ترجمة إنجليزية، ChineseStandard.net)
- Pyun et al.، Photoresist-Based Evaluation of Ultraviolet Exposure under Yellow Lighting in Academic Cleanrooms، Applied Science and Convergence Technology 34(3)، مايو 2025
المعايير
مصمم وفق متطلبات ISO 14644
نصمم وننفذ وفق المعيار الذي يحدده مشروعك. تُختبر الغرف المنجزة وفق فئة ISO 14644 المتفق عليها. للمشاريع التي تتطلب ذلك يمكننا توريد ألواح تحمل علامة CE واعتماد FM، ويمكن ترتيب شهادات المنتجات الأخرى لمشروعكم. ويمكن أيضًا ترتيب اختبار مستقل للغرف من طرف ثالث.
في الموقع
فرقنا أثناء العمل
تركيب الجدران والأسقف من الألواح ودُشات الهواء في مشاريع الغرف النظيفة.
الإثبات
ما يمكنك التحقق منه اليوم
شهادات ISO
شهادات ISO 9001 و14001 و45001 لإنتاج مكونات المباني المعدنية، متاحة عند الطلب.
جولة مباشرة بالفيديو في المصنع
تجول في خطوط إنتاج الألواح بالفيديو قبل الطلب. اطلب موعدًا.
سجل المشاريع
أكثر من 380 مشروعًا لأكثر من 210 عملاء منذ 2023. وتشمل المراجع مستشفيات ومشاريع تصدير في إندونيسيا والعراق ومنغوليا والمكسيك وكوستاريكا.
الدفع والفحص
الدفع عبر T/T أو L/C. يمكنك تعيين شركة الفحص التي تختارها لفحص البضائع قبل التحميل.
استفسار عن مشروع
أرسل ما لديك
تكفي قائمة الغرف أو مخطط الطابق أو مساحة الأرضية فقط للبدء. بعد الإرسال، أرسل المخططات بالبريد الإلكتروني أو عبر WhatsApp.
نرد بالبريد الإلكتروني خلال يوم عمل واحد. يمكننا توقيع NDA قبل أن ترسل المخططات.
واتساب +44 7962 561184 هو رقمنا في المملكة المتحدة لاستفسارات التصدير. يقع المصنع في تيانجين، الصين.
البريد الإلكتروني: info@zycleanroom.com
WhatsApp: +44 7962 561184