Salas limpias para semiconductores
Salas limpias para semiconductores planificadas en torno a sus equipos.
Bahías de proceso y salas de encapsulado y prueba, con rutas de aire, piso y servicios trazadas a partir de su plan de equipos.
Lo que importa
Diseñado en torno a su proceso
- Piso elevado y trayectorias de retorno de aire planificados con su distribución de equipos
- Iluminación amarilla en áreas de litografía donde su proceso la necesite
- Rangos de temperatura y humedad definidos con el responsable de su proceso
- Galerías de servicio y espacio para conexión de equipos planificados desde la primera distribución
Salas
Tipos de sala comunes
| Sala | Clase común |
|---|---|
| Bahías de proceso | ISO 4–6 |
| Encapsulado avanzado | ISO 5–6 |
| Prueba e inspección | ISO 6–7 |
| Vestidor | ISO 7–8 |
Clases típicas, confirmadas según su proceso, producto y regulador. Las fotos del sector son ilustrativas.
Cómo su plan de equipos define las zonas
Una fab se dibuja a partir de la lista de equipos. Cada equipo tiene una huella, un lado de servicio, extracción, líneas de gases y químicos y un límite de vibración. Decida qué lados de los equipos dan a la bahía limpia y cuáles al área de servicio. La clase se fija por etapa de proceso, a cargo del responsable de su proceso y los fabricantes de equipos. Ningún número único sirve para toda una fab. Marque cada sala que necesite líneas de gases, químicos o extracción.
ISO 14644-1:2015 clasifica el aire por partículas de 0.1 µm a 5 µm. ISO la registra como revisada y confirmada en 2021.
Lista típica de salas
Aquí no damos una clase fija. Cada sala toma su valor de su proceso y sus equipos.
| Sala | Qué fija el requisito |
|---|---|
| Bahía de proceso | Datos del fabricante del equipo y su proceso |
| Bahía de litografía | Espectro de luz verificado frente a su fotorresina |
| Salas de gases y químicos | Alarma y detección de fugas, GB 50472 cláusula 12.3 |
| Prueba y encapsulado | Especificación del producto |
| Vestidor | Escalón de presión hacia la bahía |
Reglas y normas aplicables
ISO 14644-1 declara que no abarca la naturaleza química de las partículas. ISO 14644-8:2022 clasifica el aire por concentración química y reemplazó la edición de 2013. SEMI S2 (revisión 0724E, tienda SEMI) es la guía de seguridad para equipos usados para fabricar, medir, ensamblar y probar productos semiconductores. GB 50472-2008 pide dispositivos de alarma de fugas de gas donde se almacenan y distribuyen gases combustibles, explosivos y tóxicos (12.3.6). Tiene un capítulo de microvibraciones con valores de ejemplo para equipos de precisión (capítulo 15, Apéndice C). Su regulador aprueba su instalación.
Errores comunes de diseño
Suponer que la luz amarilla es segura. Un estudio de 2025 en Applied Science and Convergence Technology probó película de fotorresina bajo luz amarilla. Un sistema aún dejó pasar suficiente UV para revelar la fotorresina.
Usar la clase de partículas como única medida. No dice nada sobre la contaminación química.
Dejar la vibración para la instalación de equipos. Fije los límites en la etapa de distribución, a partir de las hojas de datos de sus fabricantes de equipos.
Qué enviar para definir el alcance
Envíe la lista de equipos con huella, peso, carga térmica, extracción y límite de vibración. Añada la clase por etapa de proceso, la lista de químicos y gases, los límites de contaminación química que haya y el plan de ampliación. Indique qué bahías usan litografía.
Preguntas
Preguntas frecuentes
¿Qué clase ISO necesita una fábrica de obleas?
No hay una clase única. Depende de la etapa de proceso y del equipo. ISO 14644-1 clasifica de 0.1 µm hasta 5 µm, así que puede describir bahías exigentes. El responsable de su proceso fija el número.
¿La clase de partículas abarca la contaminación química?
No. ISO 14644-1 no abarca la naturaleza química de las partículas. ISO 14644-8:2022 clasifica el aire por concentración química.
¿Cómo verifico que la luz amarilla es segura?
Compare el espectro de la lámpara con la hoja de datos de su fotorresina. Luego pruebe con película de fotorresina, como hizo el estudio de 2025. El color por sí solo no demuestra seguridad.
Fuentes
- ISO 14644-1:2015, alcance y estado (ficha de Standards Council of Canada)
- Ficha de ISO 14644-8:2022 (Genorma)
- SEMI S2, tienda SEMI
- GB 50472-2008 (traducción al inglés, ChineseStandard.net)
- Pyun et al., Photoresist-Based Evaluation of Ultraviolet Exposure under Yellow Lighting in Academic Cleanrooms, Applied Science and Convergence Technology 34(3), mayo de 2025
Normas
Diseñado según los requisitos de ISO 14644
Diseñamos y construimos según la norma que especifique su proyecto. Las salas terminadas se prueban conforme a la clase ISO 14644 acordada. Para los proyectos que lo requieran podemos suministrar paneles con marcado CE y aprobación FM, y otras certificaciones de producto se pueden gestionar para su proyecto. También se pueden gestionar pruebas de sala por un tercero independiente.
En sitio
Nuestros equipos en obra
Montaje de paredes y techos de panel y duchas de aire en proyectos de salas limpias.
Respaldo
Lo que puede verificar hoy
Certificados ISO
Certificados ISO 9001, 14001 y 45001 para la producción de componentes metálicos para edificación, disponibles a solicitud.
Visita a la fábrica por video en vivo
Recorra nuestras líneas de paneles por video antes de pedir. Solicite un horario.
Historial de proyectos
Más de 380 proyectos para más de 210 clientes desde 2023. Las referencias incluyen hospitales y proyectos de exportación en Indonesia, Irak, Mongolia, México y Costa Rica.
Pago e inspección
Pago por T/T o L/C. Puede designar la empresa de inspección que prefiera para revisar la mercancía antes de la carga.
Consulta de proyecto
Envíe lo que tenga
Para empezar basta una lista de salas, un plano o solo el área. Después de enviar el formulario, envíe los planos por correo o WhatsApp.
Respondemos por correo en un día hábil. Podemos firmar un NDA antes de que envíe los planos.
WhatsApp +44 7962 561184 es nuestro número del Reino Unido para consultas de exportación. La fábrica está en Tianjin, China.
Correo: info@zycleanroom.com
WhatsApp: +44 7962 561184