Salas limpas para semicondutores
Salas limpas para semicondutores planejadas em torno dos seus equipamentos.
Baias de processo e salas de encapsulamento e teste, com rotas de ar, piso e utilidades traçadas a partir do seu plano de equipamentos.
O que importa
Projetado em torno do seu processo
- Piso elevado e caminhos de retorno de ar planejados com o layout dos seus equipamentos
- Iluminação amarela nas áreas de litografia onde seu processo exigir
- Faixas de temperatura e umidade definidas com o responsável pelo seu processo
- Corredores técnicos e espaço para conexão dos equipamentos planejados desde o primeiro layout
Salas
Tipos de sala mais comuns
| Sala | Classe comum |
|---|---|
| Baias de processo | ISO 4–6 |
| Encapsulamento avançado | ISO 5–6 |
| Teste e inspeção | ISO 6–7 |
| Paramentação | ISO 7–8 |
Classes típicas, confirmadas conforme seu processo, produto e órgão regulador. As fotos do setor são ilustrativas.
Como seu plano de equipamentos define as zonas
Uma fab é desenhada a partir da lista de equipamentos. Cada equipamento tem área ocupada, lado de serviço, exaustão, linhas de gases e químicos e limite de vibração. Decida quais lados dos equipamentos ficam voltados para a baia limpa e quais para a área de serviço. A classe é definida por etapa de processo, pelo responsável pelo seu processo e pelos fabricantes de equipamentos. Nenhum número único serve para uma fab inteira. Marque cada sala que precise de linhas de gases, químicos ou exaustão.
A ISO 14644-1:2015 classifica o ar por partículas de 0,1 µm a 5 µm. A ISO a registra como revisada e confirmada em 2021.
Lista típica de salas
Não damos aqui uma classe fixa. Cada sala recebe seu valor a partir do seu processo e dos seus equipamentos.
| Sala | O que define o requisito |
|---|---|
| Baia de processo | Dados do fabricante do equipamento e seu processo |
| Baia de litografia | Espectro de luz verificado em relação ao seu fotorresiste |
| Salas de gases e químicos | Alarme e detecção de vazamento, GB 50472 cláusula 12.3 |
| Teste e encapsulamento | Especificação do produto |
| Paramentação | Degrau de pressão em relação à baia |
Regras e normas aplicáveis
A ISO 14644-1 declara que não abrange a natureza química das partículas. A ISO 14644-8:2022 classifica o ar por concentração química e substituiu a edição de 2013. A SEMI S2 (revisão 0724E, loja SEMI) é a diretriz de segurança para equipamentos usados para fabricar, medir, montar e testar produtos semicondutores. A GB 50472-2008 pede dispositivos de alarme de vazamento de gás onde gases combustíveis, explosivos e tóxicos são armazenados e distribuídos (12.3.6). Tem um capítulo de microvibração com valores de exemplo para equipamentos de precisão (capítulo 15, Apêndice C). Seu órgão regulador aprova sua instalação.
Erros comuns de projeto
Presumir que a luz amarela é segura. Um estudo de 2025 na Applied Science and Convergence Technology testou filme de fotorresiste sob luz amarela. Um sistema ainda deixou passar UV suficiente para revelar o fotorresiste.
Usar a classe de partículas como única medida. Ela não diz nada sobre contaminação química.
Deixar a vibração para a instalação dos equipamentos. Defina os limites na fase de layout, a partir das folhas de dados dos fabricantes dos seus equipamentos.
O que enviar para definir o escopo
Envie a lista de equipamentos com área ocupada, peso, carga térmica, exaustão e limite de vibração. Acrescente a classe por etapa de processo, a lista de químicos e gases, eventuais limites de contaminação química e o plano de expansão. Diga quais baias usam litografia.
Perguntas
Perguntas frequentes
Qual classe ISO uma fábrica de wafers precisa?
Não há uma classe única. Depende da etapa de processo e do equipamento. A ISO 14644-1 classifica de 0,1 µm até 5 µm, portanto pode descrever baias exigentes. O responsável pelo seu processo define o número.
A classe de partículas abrange a contaminação química?
Não. A ISO 14644-1 não abrange a natureza química das partículas. A ISO 14644-8:2022 classifica o ar por concentração química.
Como verifico se a luz amarela é segura?
Compare o espectro da lâmpada com a folha de dados do seu fotorresiste. Depois teste com filme de fotorresiste, como fez o estudo de 2025. A cor, por si só, não comprova segurança.
Fontes
- ISO 14644-1:2015, escopo e situação (registro do Standards Council of Canada)
- Registro da ISO 14644-8:2022 (Genorma)
- SEMI S2, loja SEMI
- GB 50472-2008 (tradução para o inglês, ChineseStandard.net)
- Pyun et al., Photoresist-Based Evaluation of Ultraviolet Exposure under Yellow Lighting in Academic Cleanrooms, Applied Science and Convergence Technology 34(3), maio de 2025
Normas
Projetado conforme os requisitos da ISO 14644
Projetamos e construímos conforme a norma que seu projeto especifica. As salas concluídas são testadas conforme a classe ISO 14644 acordada. Para os projetos que exigirem, podemos fornecer painéis com marcação CE e aprovação FM, e outras certificações de produto podem ser providenciadas para o seu projeto. Também é possível providenciar testes independentes das salas por terceiros.
No local
Nossas equipes em obra
Montagem de paredes e forros de painel e chuveiros de ar em projetos de salas limpas.
Comprovação
O que você pode verificar hoje
Certificados ISO
Certificados ISO 9001, 14001 e 45001 para a produção de componentes metálicos para edificações, disponíveis mediante solicitação.
Visita à fábrica por vídeo ao vivo
Percorra nossas linhas de painéis por vídeo antes de pedir. Peça um horário.
Histórico de projetos
Mais de 380 projetos para mais de 210 clientes desde 2023. As referências incluem hospitais e projetos de exportação na Indonésia, Iraque, Mongólia, México e Costa Rica.
Pagamento e inspeção
Pagamento por T/T ou L/C. Você pode nomear a empresa de inspeção de sua escolha para verificar a mercadoria antes do carregamento.
Consulta de projeto
Envie o que tiver
Uma lista de salas, uma planta ou apenas a área já bastam para começar. Depois de enviar o formulário, mande os desenhos por e-mail ou WhatsApp.
Respondemos por e-mail em até um dia útil. Podemos assinar um NDA antes de você enviar os desenhos.
WhatsApp +44 7962 561184 é nosso número do Reino Unido para consultas de exportação. A fábrica fica em Tianjin, China.
E-mail: info@zycleanroom.com
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