Чистые помещения для полупроводников
Чистые помещения для полупроводников, спланированные под ваше оборудование.
Технологические отсеки, помещения корпусирования и испытаний с трассами воздуха, полом и инженерными сетями по вашему плану размещения оборудования.
Что важно
Проект под ваш процесс
- Фальшпол и пути возврата воздуха планируются вместе с расстановкой вашего оборудования
- Жёлтое освещение в зонах литографии, где это нужно вашему процессу
- Диапазоны температуры и влажности задаются вместе с ответственным за ваш процесс
- Технические коридоры и место для подключения оборудования закладываются с первой планировки
Помещения
Распространённые типы помещений
| Помещение | Типичный класс |
|---|---|
| Технологические отсеки | ISO 4–6 |
| Передовое корпусирование | ISO 5–6 |
| Испытания и контроль | ISO 6–7 |
| Переодевание | ISO 7–8 |
Типичные классы, подтверждаемые с учётом вашего процесса, продукции и регулятора. Фотографии отраслей носят иллюстративный характер.
Как план оборудования определяет ваши зоны
Полупроводниковая фабрика проектируется от перечня оборудования. У каждой установки есть занимаемая площадь, сервисная сторона, вытяжка, линии газов и химикатов и предел вибрации. Решите, какие стороны установок выходят в чистый отсек, а какие в сервисную зону. Класс задаётся для каждой стадии процесса ответственным за ваш процесс и производителями оборудования. Единого числа для всей фабрики нет. Отметьте каждое помещение, где нужны линии газов, химикатов или вытяжка.
ISO 14644-1:2015 классифицирует воздух по частицам от 0,1 мкм до 5 мкм. ISO указывает его как пересмотренный и подтверждённый в 2021 году.
Типовой список помещений
Мы не указываем здесь фиксированный класс. Каждое помещение получает значение исходя из вашего процесса и оборудования.
| Помещение | Что определяет требование |
|---|---|
| Технологический отсек | Данные производителя оборудования и ваш процесс |
| Отсек литографии | Спектр света, проверенный по вашему фоторезисту |
| Помещения газов и химикатов | Сигнализация и обнаружение утечек, GB 50472, п. 12.3 |
| Испытания и корпусирование | Спецификация продукта |
| Переодевание | Ступень давления к отсеку |
Применимые правила и стандарты
ISO 14644-1 указывает, что не охватывает химическую природу частиц. ISO 14644-8:2022 классифицирует воздух по химической концентрации и заменил издание 2013 года. SEMI S2 (редакция 0724E, магазин SEMI) — руководство по безопасности оборудования для изготовления, измерения, сборки и испытаний полупроводниковых изделий. GB 50472-2008 требует сигнализаторов утечки газа там, где хранятся и распределяются горючие, взрывоопасные и токсичные газы (12.3.6). В нём есть глава о микровибрациях с примерами значений для прецизионного оборудования (глава 15, Приложение C). Ваш объект утверждает регулятор.
Типичные ошибки проектирования
Считать жёлтый свет безопасным. В исследовании 2025 года в Applied Science and Convergence Technology проверяли плёнку фоторезиста при жёлтом свете. Одна система всё же пропускала достаточно УФ, чтобы проявить фоторезист.
Использовать класс по частицам как единственный критерий. Он ничего не говорит о химическом загрязнении.
Откладывать вибрацию до монтажа оборудования. Задайте пределы на этапе планировки по паспортным данным производителей оборудования.
Что прислать для определения объёма работ
Пришлите перечень оборудования с занимаемой площадью, массой, тепловыделением, вытяжкой и пределом вибрации. Добавьте класс для каждой стадии процесса, перечень химикатов и газов, пределы химического загрязнения, если они есть, и план расширения. Укажите, в каких отсеках используется литография.
Вопросы
Частые вопросы
Какой класс ISO нужен фабрике пластин?
Единого класса нет. Это зависит от стадии процесса и оборудования. ISO 14644-1 классифицирует от 0,1 мкм до 5 мкм, поэтому может описать и самые строгие отсеки. Число определяет ответственный за ваш процесс.
Охватывает ли класс по частицам химическое загрязнение?
Нет. ISO 14644-1 не охватывает химическую природу частиц. ISO 14644-8:2022 классифицирует воздух по химической концентрации.
Как проверить, что жёлтый свет безопасен?
Сверьте спектр лампы с техническим паспортом вашего фоторезиста. Затем проверьте плёнкой фоторезиста, как в исследовании 2025 года. Один только цвет безопасность не доказывает.
Источники
- ISO 14644-1:2015, область применения и статус (запись Standards Council of Canada)
- Запись об ISO 14644-8:2022 (Genorma)
- SEMI S2, магазин SEMI
- GB 50472-2008 (перевод на английский, ChineseStandard.net)
- Pyun et al., Photoresist-Based Evaluation of Ultraviolet Exposure under Yellow Lighting in Academic Cleanrooms, Applied Science and Convergence Technology 34(3), май 2025
Стандарты
Проектирование по требованиям ISO 14644
Мы проектируем и строим по стандарту, который указан в вашем проекте. Готовые помещения испытываются на соответствие согласованному классу ISO 14644. Для проектов, где это требуется, можем поставить панели с маркировкой CE и одобрением FM, а другую сертификацию продукции можно организовать для вашего проекта. Также можно организовать независимые испытания помещений третьей стороной.
На объекте
Наши бригады за работой
Монтаж стеновых и потолочных панелей и воздушных душей на объектах с чистыми помещениями.
Подтверждения
Что можно проверить уже сегодня
Сертификаты ISO
Сертификаты ISO 9001, 14001 и 45001 на производство металлических строительных конструкций предоставляются по запросу.
Видеоэкскурсия по заводу в реальном времени
Осмотрите наши линии производства панелей по видеосвязи до заказа. Запросите время.
Опыт проектов
Более 380 проектов для более чем 210 клиентов с 2023 года. В числе референций больницы и экспортные проекты в Индонезии, Ираке, Монголии, Мексике и Коста-Рике.
Оплата и инспекция
Оплата по T/T или L/C. Вы можете назначить инспекционную компанию по своему выбору для проверки товара перед погрузкой.
Запрос по проекту
Отправьте то, что есть
Для начала достаточно списка помещений, плана этажа или только площади. После отправки формы пришлите чертежи по email или в WhatsApp.
Мы отвечаем по email в течение одного рабочего дня. Мы можем подписать NDA до того, как вы отправите чертежи.
WhatsApp +44 7962 561184 — наш британский номер для экспортных запросов. Завод находится в Тяньцзине, Китай.
Email: info@zycleanroom.com
WhatsApp: +44 7962 561184